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总览 评价 吕莎莎 ， 黄涛 * ， 雷碎朱 （ 武汉理工大学信息工程学院，武汉 430070； ） 摘要： 现今，微位移的检测方法主要有如下几种，电容式微位移检测、激光干涉微位移检测、激光三角微位移检测和视觉位移检测。视觉位移检测就是测量被测物体时，用摄像
吕莎莎， 黄涛*， 雷碎朱
（
武汉理工大学信息工程学院，武汉 430070； ）
摘要：
现今，微位移的检测方法主要有如下几种，电容式微位移检测、激光干涉微位移检测、激光三角微位移检测和视觉位移检测。视觉位移检测就是测量被测物体时，用摄像机代替视觉器官，把图像作为位移信息的载体，采用机器视觉技术处理被测物体的图像，从中提取特征信息，进而获得被测物体的实际位移。本文以压电陶瓷驱动器的微位移为具体检测对象，对基于机器视觉的微位移检测系统进行研究工作。本文首先对摄像机进行标定，然后对序列图像中的驱动器目标特征边缘直线进行定位，实时获取驱动器的图像位移，实现了采用机器视觉技术对压电陶瓷驱动器的微位移进行检测。在像素当量为17.764微米/像素时，边缘直线定位误差达0.3像素，微位移检测结果不确定度可达7.9微米，达到现阶段的设计要求。
关键词：
机器视觉；微位移检测；直线定位
LV Shasha， HUANG Tao*， LEI Suizhu
（
Wuhan university of science and information engineering college, wuhan 430070； ）
Abstract：
Nowadays, micro displacement detection methods are mainly as follows: the capacitive micro displacement detection, laser interference micro displacement detection, laser triangulation micro displacement detection and visual displacement detection. Visual displacement detection means that when the measuring object to be measured, using a video camera to replace the visual organ, the image as the carrier of information distance, machine vision technology is used to deal with the image of the object to be measured, withdrawing the characteristic information and the actual displacement of the object to be measured.This paper does research on micro-displacement detection system based on machine vision to detect the micro-displacement of the piezoelectric actuator. This paper calibrates the camera, locates the objective feature borderline of the actuator in micro-displacement image, by machine vision technology, realizes the micro-displacement detection of the piezoelectric actuator. When the pixel equivalent is to 17.764 microns / pixel, the uncertainty of the borderline location is 0.3 pixel. The uncertainty of micro-displacement detected results is up to 7.9 micron, meeting the design requirements at the present stage.
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